- 如果您對該產(chǎn)品感興趣的話，可以
- 產(chǎn)品名稱：碳化硅單晶爐
- 產(chǎn)品型號：DGYY-SJ-1600
- 產(chǎn)品展商：燕園科技
- 產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔
簡單介紹
應(yīng)用領(lǐng)域：主要用于生產(chǎn)4-8英寸碳化硅單晶襯底。
產(chǎn)品描述
這款碳化硅單晶爐是由東莞燕園聯(lián)合北京大學(xué)東莞光電研究院共同研發(fā)：
*設(shè)備采用先進(jìn)的電磁屏蔽技術(shù)；
*同時對真空、溫度等控制參數(shù)定點(diǎn)標(biāo)定及二次校準(zhǔn)，減小機(jī)差；
*增強(qiáng)碳批量化生產(chǎn)的工藝可復(fù)制性。